2484:
2904:
3111:
2218:
2678:
3243:
Yet another unit related to SCCM (and SLM) is the PCCM (and PLM) which stands for
Perfect Cubic Centimeter per Minute (Perfect Litre per Minute). One PCCM is one SCCM when the gas is ideal. In other words, one PCCM is exactly the same as one SCCM if and only if
2915:
1745:
2121:
1528:
1935:
1314:
2574:
2664:
2479:{\displaystyle 1\,{\cancel {\text{SCCM}}}\cdot {\frac {1.6667\cdot 10^{-8}{\frac {101325M\left}{8314\left273.15}}{\frac {kg}{s}}}{1\,{\cancel {\text{SCCM}}}}}=7.4364\cdot 10^{-10}\,\,M\left\,{\frac {kg}{s}}.}
762:
3324:
389:
3177:
3231:
2899:{\displaystyle 50\,{\cancel {\text{SCCM}}}\cdot {\frac {1.6667\cdot 10^{-8}{\frac {10132528\left}{8314\left273.15}}{\frac {kg}{s}}}{1\,{\cancel {\text{SCCM}}}}}=1.04\cdot 10^{-6}{\frac {kg}{s}}.}
3106:{\displaystyle 1\,{\cancel {\text{SCCM}}}\cdot {\frac {1.6667\cdot 10^{-8}{\frac {101325}{8314\left273.15}}{\frac {kg}{s}}}{1\,{\cancel {\text{SCCM}}}}}=7.4364\cdot 10^{-10}\,{\frac {kmol}{s}}.}
268:
52:/min. Another expression of it would be Nml/min. These standard conditions vary according to different regulatory bodies. One example of standard conditions for the calculation of SCCM is
206:
To convert one SCCM to the measure of mass flow rate in the SI system, kg/s, one relies in the fundamental relationship between mass flow rate and volumetric flow rate (see
1539:
963:
919:
794:
536:
507:
1946:
990:
852:
298:
3386:
3309:
890:
46:
3275:
2206:
1325:
474:
443:
201:
174:
135:
104:
77:
825:
1763:
998:
2169:
2149:
412:
2495:
3400:
2585:
1750:
With this conversion from SCCM to kg/s, one can then use available unit calculators to convert kg/s to other units, such as g/s of the
544:
3326:
SEMI E12 - Guide for
Standardized Pressure, Temperature, Density, and Flow Units Used in Mass Flow Meters and Mass Flow Controllers
310:
3237:
3131:
1319:
Using this last relationship, one can convert a mass flow rate in the more familiar unit of kg/s to SCCM and vice versa with
137:= 1 (i.e., an ideal gas is used for the definition of SCCM). This example is for the semi-conductor-manufacturing industry.
3188:
216:
3122:
2489:
Considering nitrogen, which has a molecular weight of 28 kg/kmol, 1 SCCM of nitrogen in kg/s is given by:
2171:
is in kg/kmol. Furthermore, consider standard conditions of 101325 Pa and 273.15 K, and assume the gas is an
3444:
3449:
3405:
National
Institute of Standards and Technology (NIST), US Department of Commerce, United States Government
446:
107:
3401:"NIST Guide to the SI, Appendix B.9: Factors for units listed by kind of quantity or field of science"
1740:{\displaystyle 1\,SCCM=1.6667\cdot 10^{-8}{\frac {p_{n}M\left}{Z_{n}R_{u}\leftT_{n}}}{\frac {kg}{s}}.}
3368:
1757:
Based on the above formulas, the relationship between SCCM and molar flow rate in kmol/s is given by
207:
2209:
2579:
To do the same for 1 SCCM of helium, which has a molecular weight of 4 kg/kmol, one obtains:
2116:{\displaystyle 1\,SCCM=1.6667\cdot 10^{-8}{\frac {p_{n}}{Z_{n}R_{u}\leftT_{n}}}{\frac {kmol}{s}}.}
3380:
3303:
2131:
For some usage examples, consider the conversion of 1 SCCM to kg/s of a gas of molecular weight
1523:{\displaystyle 1\,{\frac {kg}{s}}=6\cdot 10^{7}{\frac {Z_{n}R_{u}\leftT_{n}}{p_{n}M\left}}SCCM,}
924:
895:
770:
512:
483:
968:
830:
276:
857:
301:
3247:
2178:
1930:{\displaystyle 1\,{\frac {kmol}{s}}=6\cdot 10^{7}{\frac {Z_{n}R_{u}\leftT_{n}}{p_{n}}}SCCM,}
415:
146:
42:
1309:{\displaystyle {\dot {m}}\left={\frac {p_{n}M\left}{Z_{n}R_{u}\leftT_{n}}}{\dot {q}}\left.}
452:
421:
179:
152:
149:
per minute of a fluid, typically a gas, at a density defined at some standard temperature,
113:
82:
55:
799:
38:
3372:
145:
For conversion purposes, it is useful to think of one SCCM as the mass flow rate of one
2154:
2134:
397:
3438:
2569:{\displaystyle 7.4364\cdot 10^{-10}\,\cdot \,28=2.0822\cdot 10^{-8}{\frac {kg}{s}}.}
2659:{\displaystyle 7.4364\cdot 10^{-10}\,\cdot \,4=2.9745\cdot 10^{-9}{\frac {kg}{s}}.}
477:
17:
538:
units of measurement and their conversion between square brackets one obtains
2172:
2669:
Notice that 1 SCCM of helium is less in kg/s than one SCCM of nitrogen.
2672:
To convert 50 SCCM of nitrogen with the above considerations one does
3429:
3296:
Fundamentals of semiconductor manufacturing and process control
3121:
A unit related to the SCCM is the SLM or SLPM which stands for
3350:
Flow
Measurement: Practical Guides for Measurement and Control
1751:
757:{\displaystyle {\dot {m}}\left=\rho _{n}\left{\dot {q}}\left,}
384:{\displaystyle \rho _{n}={\frac {p_{n}M}{Z_{n}R_{u}T_{n}}},}
3172:{\displaystyle 1\,{\text{SCCM}}=10^{-3}\,{\text{SLM}},}
3226:{\displaystyle 1\,{\text{SLM}}=10^{3}\,{\text{SCCM}}.}
3250:
3191:
3134:
2918:
2681:
2588:
2498:
2221:
2181:
2157:
2137:
1949:
1766:
1542:
1328:
1001:
971:
927:
898:
860:
833:
802:
773:
547:
515:
486:
455:
424:
400:
313:
279:
219:
182:
155:
116:
85:
58:
3269:
3225:
3171:
3105:
2898:
2658:
2568:
2478:
2200:
2163:
2143:
2115:
1929:
1739:
1522:
1308:
984:
957:
913:
884:
846:
819:
788:
756:
530:
501:
480:. By including in the above relationship between
468:
437:
406:
383:
292:
262:
195:
168:
129:
98:
71:
3047:
2924:
2847:
2687:
2387:
2227:
300:is density at some standard conditions, and an
263:{\displaystyle {\dot {m}}=\rho _{n}{\dot {q}},}
45:of a fluid. 1 SCCM is identical to 1
3363:Hoffman D., Singh B., Thomas III J.H. (1998).
141:Conversion to mass flowrate and molar flowrate
992:with the above equation of state one obtains
8:
3385:: CS1 maint: multiple names: authors list (
3308:: CS1 maint: multiple names: authors list (
3430:Mass flow rate calculator (including SCCM)
3236:Another unit is the SCFM which stands for
3365:Handbook of vacuum science and technology
3255:
3249:
3215:
3214:
3208:
3196:
3195:
3190:
3161:
3160:
3151:
3139:
3138:
3133:
3079:
3078:
3069:
3046:
3045:
3025:
2982:
2955:
2946:
2933:
2923:
2922:
2917:
2878:
2869:
2846:
2845:
2825:
2782:
2743:
2718:
2709:
2696:
2686:
2685:
2680:
2638:
2629:
2612:
2608:
2599:
2587:
2548:
2539:
2522:
2518:
2509:
2497:
2458:
2457:
2427:
2419:
2418:
2409:
2386:
2385:
2365:
2322:
2283:
2258:
2249:
2236:
2226:
2225:
2220:
2186:
2180:
2156:
2136:
2089:
2071:
2039:
2029:
2019:
1995:
1988:
1979:
1953:
1948:
1891:
1870:
1838:
1828:
1818:
1811:
1805:
1771:
1770:
1765:
1719:
1701:
1669:
1659:
1649:
1613:
1588:
1581:
1572:
1546:
1541:
1472:
1447:
1426:
1394:
1384:
1374:
1367:
1361:
1333:
1332:
1327:
1289:
1281:
1275:
1263:
1253:
1246:
1231:
1225:
1205:
1195:
1179:
1178:
1160:
1128:
1118:
1108:
1072:
1047:
1040:
1018:
1003:
1002:
1000:
976:
970:
941:
935:
926:
900:
899:
897:
876:
867:
859:
838:
832:
809:
801:
775:
774:
772:
737:
729:
723:
711:
701:
694:
679:
673:
653:
643:
627:
626:
614:
600:
590:
564:
549:
548:
546:
517:
516:
514:
488:
487:
485:
460:
454:
429:
423:
399:
369:
359:
349:
334:
327:
318:
312:
284:
278:
246:
245:
239:
221:
220:
218:
187:
181:
160:
154:
121:
115:
90:
84:
63:
57:
2208:). Using the unity bracket method (see
3286:
3378:
3301:
2909:To convert 1 SCCM to kmol/s one does
110:) and a unity compressibility factor
31:Standard cubic centimeters per minute
7:
3298:. John Wiley and Sons. p. 110.
3294:May, G. S., Spanos, C. J. (2006).
25:
3117:Related units of flow measurement
3367:. Academic Press. p. 377.
3238:standard cubic feet per minute
3019:
3013:
2970:
2961:
2819:
2813:
2733:
2724:
2359:
2353:
2273:
2264:
2083:
2077:
2010:
2001:
1906:
1897:
1882:
1876:
1713:
1707:
1603:
1594:
1462:
1453:
1438:
1432:
1172:
1166:
1062:
1053:
1:
3277:in the above relationships.
965:. Thereafter, by replacing
79:= 0 °C (273.15 K) and
3466:
958:{\displaystyle cm^{3}/min}
914:{\displaystyle {\dot {q}}}
789:{\displaystyle {\dot {m}}}
531:{\displaystyle {\dot {q}}}
502:{\displaystyle {\dot {m}}}
3123:Standard litre per minute
985:{\displaystyle \rho _{n}}
847:{\displaystyle \rho _{n}}
293:{\displaystyle \rho _{n}}
3125:. Their conversion is
885:{\displaystyle kg/m^{3}}
3348:Spitzer, D. W. (1991).
3270:{\displaystyle Z_{n}=1}
2201:{\displaystyle Z_{n}=1}
3271:
3227:
3173:
3107:
2900:
2660:
2570:
2480:
2202:
2165:
2145:
2117:
1931:
1741:
1524:
1310:
986:
959:
915:
886:
848:
821:
790:
758:
532:
503:
470:
447:compressibility factor
439:
408:
385:
294:
264:
197:
170:
131:
100:
73:
3272:
3228:
3174:
3108:
2901:
2661:
2571:
2481:
2203:
2166:
2146:
2118:
1932:
1742:
1525:
1311:
987:
960:
916:
887:
849:
822:
791:
759:
533:
504:
471:
469:{\displaystyle R_{u}}
440:
438:{\displaystyle Z_{n}}
409:
386:
295:
265:
198:
196:{\displaystyle p_{n}}
171:
169:{\displaystyle T_{n}}
132:
130:{\displaystyle Z_{n}}
101:
99:{\displaystyle p_{n}}
74:
72:{\displaystyle T_{n}}
41:used to quantify the
3248:
3189:
3132:
3051:
2928:
2916:
2851:
2691:
2679:
2586:
2496:
2391:
2231:
2219:
2179:
2155:
2135:
1947:
1764:
1540:
1326:
999:
969:
925:
896:
858:
831:
820:{\displaystyle kg/s}
800:
771:
545:
513:
484:
453:
422:
398:
311:
277:
217:
208:volumetric flow rate
180:
153:
114:
83:
56:
27:Fluid flow rate unit
3407:. February 17, 2022
3373:1998hvst.book.....H
3352:. ISA. p. 341.
2210:conversion of units
2127:Conversion examples
1754:system, or slug/s.
3267:
3223:
3169:
3103:
2896:
2656:
2566:
2476:
2198:
2161:
2141:
2113:
1927:
1737:
1520:
1306:
982:
955:
911:
882:
844:
817:
786:
754:
528:
499:
466:
435:
404:
381:
290:
260:
193:
166:
127:
106:= 1.01 bar (14.72
96:
69:
3218:
3199:
3164:
3142:
3098:
3054:
3050:
3038:
3023:
3004:
2927:
2891:
2854:
2850:
2838:
2823:
2804:
2767:
2690:
2651:
2561:
2471:
2451:
2394:
2390:
2378:
2363:
2344:
2307:
2230:
2164:{\displaystyle M}
2144:{\displaystyle M}
2108:
2087:
2061:
1910:
1860:
1790:
1732:
1717:
1691:
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1503:
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557:
525:
496:
407:{\displaystyle M}
376:
302:equation of state
254:
229:
176:, and pressure,
16:(Redirected from
3457:
3417:
3416:
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2956:
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2925:
2905:
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2897:
2892:
2887:
2879:
2877:
2876:
2855:
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